Number | Name | Date | Kind |
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3691844 | Moore | Sep 1972 | A |
6082204 | Munderloh | Jul 2000 | A |
Number | Date | Country |
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0 725 267 | Aug 1996 | EP |
Entry |
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Kluge, Stefan et al.: Mikroelektronik liefert Grundlagen für Mikropumpen. In: TR Transfer, Nr. 15, 1996, Pa.50-54. |
Zengler, R. et al.: A bidirectional silicon micrompump. In: Sensors and Actuators A 50, 1995, Pa. 81-86. |