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Vapor deposition of chalcogenide-containing films
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Patent number 9,543,144
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Issue date Jan 10, 2017
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L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GE...
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Hana Ishii
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C23 - COATING METALLIC MATERIAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL CHEMI...
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Tellurium precursors for film deposition
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Patent number 8,802,194
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Issue date Aug 12, 2014
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L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GE...
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Hana Ishii
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C23 - COATING METALLIC MATERIAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL CHEMI...
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Method for the deposition of a ruthenium-containing film
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Patent number 8,753,718
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Issue date Jun 17, 2014
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L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GE...
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Christian Dussarrat
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C23 - COATING METALLIC MATERIAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL CHEMI...
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Method of forming silicon oxide containing films
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Patent number 8,613,976
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Issue date Dec 24, 2013
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L'Air Liquide, SociétéAnonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Geo...
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Christian Dussarrat
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C23 - COATING METALLIC MATERIAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL CHEMI...
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Method for the deposition of a Ruthenium containing film
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Patent number 8,557,339
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Issue date Oct 15, 2013
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L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GE...
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Julien Gatineau
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C23 - COATING METALLIC MATERIAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL CHEMI...
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Method for the deposition of a ruthenium containing film
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Patent number 8,404,306
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Issue date Mar 26, 2013
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L'Air Liquide, Societe Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procedes Ge...
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Christian Dussarrat
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C23 - COATING METALLIC MATERIAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL CHEMI...
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Method of forming silicon oxide containing films
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Patent number 8,227,032
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Issue date Jul 24, 2012
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L'Air Liquide Societe Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procedes Geo...
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Christian Dussarrat
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C23 - COATING METALLIC MATERIAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL CHEMI...
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Tellurium precursors for film deposition
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Patent number 8,101,237
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Issue date Jan 24, 2012
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L'Air Liquide SociétéAnonyme pour I'Etude et I'Exploitation des Procédés Geor...
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Shingo Okubo
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C23 - COATING METALLIC MATERIAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL CHEMI...
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